多功效薄膜沉积装备(SPE)
多功效薄膜沉积装备(SPE)
手艺特点 Features
· 将真空蒸镀、反应式等离子镀膜、磁控溅射三大镀膜�？？ ？？？？檎铣梢惶澹� ，，，，三种镀膜手艺可同时自力运行， ，，，，实验开机率媲美三台装备， ，，，，产能高。。。。。
· 实现蒸镀、RPD、PVD 真空连镀工艺， ，，，，提供多种组合镀膜， ，，，，落实叠层钙钛矿层工艺一步到位， ，，，，有利于膜层界面优化、镌汰装卸、传输损伤， ，，，，有利于量产装备的提效降本。。。。。
· 接纳与量产工艺统一的移动镀膜模式， ，，，，提高未来扩产乐成率、镌汰大尺寸量产危害。。。。。
· 自主程序设计、人性化操作界面 ； ；；；；；多层级权限设定， ，，，，信息保密 ； ；；；；；严谨完善的清静设计， ，，，，防呆功效周密 ； ；；；；；绿色环保、节能设计 。。。。。
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