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多功效薄膜沉积装备(SPE)

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多功效薄膜沉积装备(SPE)

  手艺特点 Features  

· 将真空蒸镀、反应式等离子镀膜、磁控溅射三大镀膜?????檎铣梢惶,,,,,三种镀膜手艺可同时自力运行,,,,,实验开机率媲美三台装备,,,,,产能高。。。。。。

· 实现蒸镀、RPD、PVD 真空连镀工艺,,,,,提供多种组合镀膜,,,,,落实叠层钙钛矿层工艺一步到位,,,,,有利于膜层界面优化、镌汰装卸、传输损伤,,,,,有利于量产装备的提效降本。。。。。。

· 接纳与量产工艺统一的移动镀膜模式,,,,,提高未来扩产乐成率、镌汰大尺寸量产危害。。。。。。

· 自主程序设计、人性化操作界面;;;;;;多层级权限设定,,,,,信息保密;;;;;;严谨完善的清静设计,,,,,防呆功效周密;;;;;;绿色环保、节能设计 。。。。。。

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