反应式等离子体镀膜与磁控溅射镀膜 一体装备（PAR）
反应式等离子体镀膜与磁控溅射镀膜 一体装备（PAR）
手艺特点 Features
· 集成磁控溅射(PVD)、反应式等离子(RPD)镀膜；；； ；；
· 产品系列从研发装备至量产装备周全结构；；； ；；
· 量产产能：100 MW，，，，， ，250 MW，，，，， ，600 MW。 。。。。。。。
下一个：
多功效薄膜镀膜装备
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