16腔单晶圆水平电镀量产装备
16腔单晶圆水平电镀量产装备
手艺特点 Features
· 片内匀称性：＜4%，，，，，片间匀称性：＜3%，，，，，重复性：＜3%，，，，，COP：＜10?m。。。。 。。。
· 90%部件本土化，，，，，外地软件团队，，，，，有自力的设计和专利。。。。 。。。
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4腔单晶圆水平电镀工艺装备
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晶圆擦洗装备（刷片机）
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