多功效薄膜沉积装备(SPE)
多功效薄膜沉积装备(SPE)
手艺特点 Features
· 将真空蒸镀、反应式等离子镀膜、磁控溅射三大镀膜�？？？？？？？？檎铣梢惶澹�， ，， ，，三种镀膜手艺可同时自力运行，， ，， ，，实验开机率媲美三台装备，， ，， ，，产能高。。。。。。。
· 实现蒸镀、RPD、PVD 真空连镀工艺，， ，， ，，提供多种组合镀膜，， ，， ，，落实叠层钙钛矿层工艺一步到位，， ，， ，，有利于膜层界面优化、镌汰装卸、传输损伤，， ，， ，，有利于量产装备的提效降本。。。。。。。
· 接纳与量产工艺统一的移动镀膜模式，， ，， ，，提高未来扩产乐成率、镌汰大尺寸量产危害。。。。。。。
· 自主程序设计、人性化操作界面 ；；；； ；多层级权限设定，， ，， ，，信息保密 ；；；； ；严谨完善的清静设计，， ，， ，，防呆功效周密 ；；；； ；绿色环保、节能设计 。。。。。。。
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