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单面卷绕溅射镀膜机(三腔)

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单面卷绕溅射镀膜机(三腔)

  手艺特点 Features  

· 镀膜腔可拓展 ,, ,,,,,实现多种工艺 ,, ,,,,,高速沉积 ;; ;;;;;;

· 接纳等离子外貌处置惩罚 ,, ,,,,,有用提高膜层的结协力 ;; ;;;;;;

· 多腔溅射工艺室 ,, ,,,,,提高生产效率 ;; ;;;;;;

· 设置多组隔离溅射腔 ,, ,,,,,可以实现多种质料沉积 ;; ;;;;;;

· 可定制幅宽300~1650 mm ;; ;;;;;;

· 实现在线光学检测 ,, ,,,,,在线方阻检测 ;; ;;;;;;

· 全自动卷绕控制系统 ,, ,,,,,纠偏系统。。。。。



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