手艺特点  Features  

· 产能：600片/批，，，，，，14400片/小时（210 硅片）；；；；；；720片/批，，，，，，17280片/小时（182硅片）。。。。。。。。

· 工艺槽循环量可调。。。。。。。。

· 制绒金字塔匀称，，，，，，刻蚀深度可调。。。。。。。。

· 支持最薄120μm 硅片。。。。。。。。

· 清洁干燥区域，，，，，，自清洁干燥系统。。。。。。。。

· 低H₂O₂ 消耗。。。。。。。。

· 快速换液，，，，，，在线换液。。。。。。。。

· 支持MES、RFID 及选配在线称重功效。。。。。。。。