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管式等离子体多晶硅淀积炉

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管式等离子体多晶硅淀积炉

  手艺特点  Features  

· 隧穿氧化层、i-poly、D-poly 三合一同管完成,,,, ,,,镌汰工艺环节,,,, ,,,有用提升良率、降低碎片率。。。。。。

· 无热壁特征,,,, ,,,石英管使用寿命长。。。。。。

· 绕镀稍微,,,, ,,,易去除。。。。。。

· 精准掺杂、可引入其它提效掺杂元素,,,, ,,,工艺拓展、提效空间大。。。。。。

· 防导通专利手艺。。。。。。


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