手艺特点 Features  

· PR stripper，，，，，，Nit Stripper,，，，，，，Pre-Clean，，，，，，B-Clean，，，，，，Metal etching，，，，，，Recycle，，，，，，Post CMP clean, EKC stripper，，，，，，Post Ash Polymer Removal .

· PA adder, 0.16um <10ea u% <3% 氧化物刻蚀 SECS GEM, RMS, iEMS, FDC Scheduler.