手艺特点 Features  

· PR stripper，，，，，，，，Nit Stripper，，，，，，，，Pre Clean，，，，，，，，Metal Etch,，，，，，，，，EKC stripper，，，，，，，，Post Ash Polymer Removal，，，，，，，， Wafer Recycle, Carrier Clean.

· PA adder, >0.16um <30ea u% <3% 氧化物刻蚀 SECS GEM, RMS, iEMS, FDC Scheduler.