反应式等离子体镀膜装备 (RPD)
反应式等离子体镀膜装备 (RPD)
手艺特点 Features
· 具有低温与低轰击特征的RPD 装备是沉积种种薄膜时能�；；；；；；じ祁芽笪詹愕淖罴牙�。。。。。
· 直线式RPD 装备能坚持在真空情形下一连沉积钙钛矿所需种种ITO/IWO/ICO/Cu/SnO2 薄膜而不接触大气。。。。。
· �？？？？？？？榛腞PD 装备可以与钙钛矿吸收层ABX3 共蒸镀、NiO 磁控溅射相配套来节约钙钛矿元件开发的试验本钱。。。。。
· 种种冷阱、相邻镀膜腔工艺气氛阻遏与加热器等选项 ，，，，，，，可以让客户施展更多的钙钛矿薄膜组合与接面特征剖析。。。。。
· RPD 镀膜适合钙钛矿、异质结太阳能电池、微型发光二极管与量子点显示器等的种种薄膜制备。。。。。
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多功效薄膜沉积装备(SPE)
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